Pompa próżniowa i sterownik turbomolekularnej nie są obecne!
2× Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC
PFEIFFER IKR 251 kompaktowy wskaźnik
z zimną katodą
VAT 26432-KA41-0001/0319 zawór
kątowy próżniowy
Dodatkowy duży zawór
próżniowy VAT
Duży zespół
zaworów wysokopróżniowych
Obsługa gazów, elementy
aktuacyjne i procesowe
System siłowania THC-8AWDS liniowy siłownik (skok 400 mm)
Różne czujniki, w tym czujniki ciśnienia, temperatury i
przełączania
Różne siłowniki, w tym zawory elektrozaworowe i elementy
grzewcze
Rama CVD (oryginalny SP-500, modernizacja 2011)
Szafa sterująca przepływem masy (w zestawie)
Bezpieczeństwo i ochrona
procesów
RF i dostarczanie
mocy
RF DRESSLER – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Jednostka
RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (niefunkcjonalny – nie włącza się)
Moc RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
Zasilacz TDK Lambda GEN40-125
Jednostka sterująca i elektronika
Sterownik
zaworu wydechowego MKS Type 252C-1-VPO
Automatyczny regulator
ciśnienia MKS Type 152
Automatyczny regulator
ciśnienia MKS Type 600
MKS Type 2708
19\" rack-mount PC (brak hasła do oprogramowania sterującego)
Auction-ID: A1-49139-3