PLASSYS - 2006 - CVD500 - Kompletny system osadzania próżniowego/CVD

Wyposażenie obejmuje kompletny system podciśnieniowy/CVD z elektroniką sterującą, komponenty próżniowe, pompy wysokiego podciśnienia, zasilacze RF, siłowniki i czujniki. Podwozie, pierwotnie wyprodukowane w 1998 roku, przeszło gruntowną modernizację w 2011 roku poprzez zastosowanie nowych komponentów.

System jest sprzedawany w obecnej formie, na części lub do naprawy. System nie był w pełni połączony i nie miał hasła, co uniemożliwia dalsze testy.



System składa się z następujących głównych komponentów:



Komponenty próżniowe i pompujące

Pompa turbo ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M

2 odkurzacze Leybold CTR 90 CERAVAC

PFEIFFER IKR 251
Kompaktowy wskaźnik chłodnej katody
Zawór kątowy próżniowy TVA 26432-KA41-0001/0319


Dodatkowy zawór próżniowy o dużym rozmiarze VAT
Duży zestaw
zaworów wysokiego podciśnienia
System aktywacji: Siłownik liniowy THC-8AWDS (skok 400 mm)

Różne czujniki, w tym ciśnienie, temperatura i przełączanie

Różne siłowniki, w tym zawory elektrozaworowe i elementy grzewcze

Ramy CVD (oryginalny SP-500, zmodyfikowany w 2011)

Szafa sterująca przepływem masy (w zestawie)



Zasilanie
RF
Wzmacniacz RF Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz


RF10S Jednostka RFPP
Advanced Energy MDX 500 (Niefunkcjonalny – nie włącza się)

Moc RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz

Zasilacz TDK Lambda GEN40-125



Jednostka sterująca i elektronika

KONTROLER ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M

Sterownik zaworu wydechowego MKS typu 252C-1-VPO

Automatyczny Regulator Ciśnienia MKS Type 152

Automatyczny regulator ciśnienia MKS Type 600

MKS Type 2708

19\" rackmount PC (brak hasła do oprogramowania sterującego)

Paletyzacja i załadunek mają być wykonane przez kupującego na miejscu

Auction-ID: A1-47375-1
seller offer No. resale bf37538f-c44a-4c69-b815-ac13670ebf60