Wyposażenie obejmuje kompletny system podciśnieniowy/CVD z
elektroniką sterującą, komponenty próżniowe, pompy wysokiego
podciśnienia, zasilacze RF, siłowniki i czujniki. Podwozie,
pierwotnie wyprodukowane w 1998 roku, przeszło gruntowną
modernizację w 2011 roku poprzez zastosowanie nowych komponentów.
Według logów systemowych, ostatni raz był używany w 2021 roku.
System jest sprzedawany w obecnej formie, na części lub naprawę,
ponieważ maszyna nie została w pełni zasilana ani przetestowana.
Włączona była tylko szafa elektryczna. System nie był w pełni
połączony i nie posiadał hasła, co uniemożliwia dalsze testy lub
weryfikację zgodności ze standardami bezpieczeństwa.
System składa się z następujących głównych
komponentów:
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2x Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr i 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Zawór
kątowy próżniowy
1X PFEIFFER IKR 251 KOMPAKTOWA KATODA
O WYSOKIEJ PRÓŻNI
Zawór
1X Wide HI VAC
System siłacji 1X THC-8AWDS Liniowy Siłownik 400mm
1x RF dressler - AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Jednostka sterująca
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
Napęd magnetron 1X ADVANCED ENERGY MDX 500 (nie włącza się)
Zasilacz
RF 1X Cesar
1X MKS, typ 252, 252C-1-VPO, sterownik
zaworu wydechowego
1X MKS Type 152 Automatyczny Regulator
Ciśnienia
Komputer
rackowy 1x 19\"
Szafa sterująca przepływem masy (w zestawie)
(brak hasła do oprogramowania sterującego)
Paletyzacja i załadunek mają być wykonane przez kupującego na
miejscu
Auction-ID: A1-47375-2